Poröse Titangetter sind poröse Strukturmaterialien, die durch Pulvermetallurgie (z. B. isostatisches Pressen + Vakuumsintern) aus reinem Titan hergestellt werden. Seine Hauptmerkmale sind eine hohe Porosität (normalerweise 30–40 %), eine große spezifische Oberfläche und die inhärente hohe chemische Aktivität von Titan, die es ihm ermöglicht, eine Vielzahl von Gasen bei hohen Temperaturen effizient zu adsorbieren.
In Vakuumsystemen werden Gettermaterialien wie Titan häufig erhitzt, um reaktive Gase freizusetzen, die dann mit allen in der Vakuumkammer vorhandenen restlichen Gasmolekülen reagieren und diese absorbieren. Dieser Prozess trägt dazu bei, das gewünschte Vakuumniveau aufrechtzuerhalten, indem unerwünschte Gase, die den Betrieb des Systems beeinträchtigen könnten, effektiv entfernt werden.
1. Grundprinzipien
Titangetter sind nicht-verdampfbare Getter (NEGs), die reaktive Gase (H₂, O₂, N₂, CO usw.) durch die Bildung stabiler Verbindungen (z. B. TiH₂, TiO₂) chemisch adsorbieren.
Ihre Wirksamkeit ergibt sich aus:
Hohe Oberfläche
Exotherme Reaktionen mit Gasen bei Aktivierungstemperaturen von 400–800 Grad
Niedriger Gleichgewichtsdruck
2. Industrielle Anwendungen
Vakuumelektronik
Halten Sie Ultrahochvakuum in Röntgenröhren und Teilchenbeschleunigern aufrecht
Halbleiterfertigung
Restgase in Abscheidungskammern kontrollieren (z. B. Cu-Oxidation verhindern)
Energiespeicher
Wasserstoffreinigung für Brennstoffzellen
Luft- und Raumfahrt
Satellitenantriebssysteme (Adsorption von H₂ aus der Hydrazinzersetzung)
