0,2 µm ultrafeiner Titanfilter für hochreines Gas
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0,2 µm ultrafeiner Titanfilter für hochreines Gas

0,2 µm ultrafeiner Titanfilter für hochreines Gas

Homogene Materialintegration
Faser-Freie starre Filterschicht
Bereit-zur-Nutzung der Terminalverbindung
Geringer Druckabfall, hohe Durchflusseigenschaften
Kurz-Flow-Channel-Design
Begleitheizungskompatible Konstruktion
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Produkteinführung

Dieses Titanfilterelement von TOPTITECh wird mithilfe eines Hochtemperatur-Sinterverfahrens präzisions-aus reinem Gr1-Titan hergestellt und bildet eine strukturell stabile mikroporöse Filterschicht. Die inerte Trägheit von Titan sorgt dafür, dass es bei Kontakt mit verschiedenen hochreinen Gasen zu keiner Reaktion oder Partikelablösung kommt und die ursprüngliche Reinheit des Gasmediums während des gesamten Filtrationsprozesses erhalten bleibt, um die strengen Reinheitsanforderungen der Präzisionsfertigung zu erfüllen.

 

Dieser Filter wurde speziell für Point-{0}}of-Anwendungen zur hochreinen Gasfiltration entwickelt und verfügt über eine kompakte Struktur mit Standardanschlüssen, die sich nach der Installation nahtlos in Rohrleitungssysteme integrieren lassen. Die Konstruktion aus gesintertem Titan bietet eine außergewöhnliche Leistung bei der Rückspülregeneration und ermöglicht eine wiederholte Reinigung und Wiederverwendung bei gleichzeitiger Beibehaltung der Filterwirkung. Dadurch wird ein stabiler und langlebiger Filterschutz für hochreine Gasversorgungssysteme gewährleistet.

 

Produktspezifikationen

 

 

Material: Titan Gr1

Durchmesser: 40 mm

Länge: 50 mm

Porengröße: 0,2 µm

Anschluss: 1-Zoll-NPT-Außengewinde

Technik: Sintern

 

Produktmerkmale

 

Homogene Materialintegration

Das Filterelement verfügt über eine durchgehende Titanstruktur ohne Dichtungen aus unterschiedlichen Materialien an der Verbindungsschnittstelle, wodurch Leckagerisiken und eine Verschlechterung der Dichtung durch unterschiedliche Wärmeausdehnung vermieden werden.

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Faser-Freie starre Filterschicht

Das Filtermedium wird im Gegensatz zu gewickelten oder plissierten Filtermedien durch Sintern von Metallpulver gebildet. Diese Konstruktion eliminiert das Risiko einer Faserfreisetzung und bewahrt die strukturelle Integrität bei Rückstoß oder Druckschwankungen.

Bereit-zur-Nutzung der Terminalverbindung

Die integrierte Standard-Gewindeschnittstelle lässt sich ohne Adapter oder Leitungsänderungen direkt an die Gasgeräteeinlässe anschließen und stellt eine mechanische Verbindung zwischen dem Filterelement und dem Gaszufuhrsystem her.

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Geringer Druckabfall, hohe Durchflusseigenschaften

Die gesinterte Porenstruktur schafft miteinander verbundene dreidimensionale Pfade, die den Strömungswiderstand minimieren und eine Feinfiltration bei gleichbleibendem Durchsatz ermöglichen, ohne die Leistung nachgeschalteter Geräte zu beeinträchtigen.

Kurz-Flow-Channel-Design

Der minimierte Abstand zwischen Filtermedium und Verbindungsschnittstelle reduziert die Verweilzeit des Gases im Filterelement, begrenzt die Kontaktmöglichkeiten mit Innenflächen und minimiert Adsorptions- oder Reaktionsrisiken.

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Begleitheizungskompatible Konstruktion

Der Ganzmetall-Sinterkörper hält den Prozesstemperaturen stand, die für Anwendungen mit Begleitheizung-erforderlich sind, und behält die Filtrationsleistung in Szenarien bei, in denen die Erwärmung eine Gaskondensation oder -adsorption während der Lieferung verhindert.

 

Produktanwendungen

 

Gasfiltration in der Halbleiterfertigung
Wird an Gaseinlässen von Epitaxie-, Abscheidungs- und Ätzgeräten installiert, um feine Partikel aus Gasquellen zu entfernen und Waferoberflächen vor Partikelkontamination zu schützen.

 

Ultra-Hochreine Gasversorgungssysteme
Wird an Endausgängen von Gasschränken oder Verteilerkästen montiert, um die Endfiltration von hoch{0}reinen Gasen am Einsatzort durchzuführen und sicherzustellen, dass die Gasreinheit den Prozessanforderungen entspricht.

 

Spezialgas-Präzisionsfiltration
Wird in Rohrleitungen eingesetzt, die brennbare, pyrophore und korrosive Gase wie Silan, Phosphin und Arsen fördern, wobei die Inertheit von Titan die Kompatibilität ohne Reaktion oder katalytische Zersetzung gewährleistet.

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Partikelretention bei kritischen Prozessen
Wird vor sensiblen Prozessen wie der Ionenimplantation und -diffusion positioniert, um Spurenpartikel abzufangen, die durch den Verschleiß von Ventilen und Massendurchflussreglern entstehen, und so die Stabilität der Ausrüstung zu gewährleisten.

 

Schutz des Gasmischsystems
Wird an Auslässen von Mehrkanal-Gasmischern installiert, um Verunreinigungen aus Gasgemischen zu filtern und so die Partikelmigration in nachgeschaltete Prozesskammern oder Verpackungsvorgänge zu verhindern.

 

Präzisionsanalytische Trägergasfiltration für Instrumente
Wird an den Gaseinlässen von Gaschromatographen und Massenspektrometern verwendet, um feine Partikel aus Trägergasen zu entfernen, Kernkomponenten zu schützen und Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit sicherzustellen

 

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