Der 10 µm Titan-Sinterfilter für Halbleiter-Abgase von TOPTITECH wird aus hochreinem Titanpulver durch ein spezielles Sinterverfahren hergestellt. Er verfügt über eine präzise kontrollierbare Mikroporenstruktur und kann effektiv Partikelverunreinigungen in den Abgasen von Halbleiterprozessen zurückhalten. Durch das einzigartige, abgestufte Filtrationsdesign werden Partikel im Bereich von 0,2 bis 10 µm effizient abgeschieden, ohne die Gasdurchlässigkeit zu beeinträchtigen. Die natürliche Korrosionsbeständigkeit von Titan schützt zuverlässig vor den sauren oder alkalischen Bestandteilen der Prozessabgase und gewährleistet langfristig stabile Filtrationseigenschaften.

Als letzte Schutzstufe im Abgasmanagement von Halbleiterfertigungsprozessen schützt dieses Filterelement nicht nur Vakuumpumpen und Abgasreinigungssysteme, sondern senkt auch signifikant das Risiko von Partikelverunreinigungen in Reinräumen. Aufgrund seiner kompakten Bauform eignet sich der Filter besonders gut für den Einbau in platzkritische Abgassysteme von Halbleiteranlagen und trägt entscheidend zur Erhöhung der Chipausbeute und Geräteleistung bei.

Especificaciones

Material: Titanpulver

Durchmesser: 60 mm

Länge: 90 mm

Filterfeinheit: 10 µm

Verfahren: Sintern

Eigenschaften

10m Titanium Sintered Filter for Semiconductor Exhaust

Titanium Sintered Filter for Semiconductor Exhaust

Extrem geringer Luftwiderstand
Die optimierte Porenstruktur reduziert den Strömungswiderstand um 30 %, ohne die Filtrationseffizienz zu beeinträchtigen – ideal zur Schonung des Prozessluftstroms.

Hohe Partikelstoßfestigkeit
Eine speziell verstärkte Filteroberfläche hält dem Aufprall hochgeschwindigkeitsbewegter Partikel stand und verhindert typische Oberflächenbeschädigungen herkömmlicher Filtermaterialien.

Thermoschockbeständigkeit
Dank eines speziellen Wärmebehandlungsverfahrens widersteht der Filter Temperatursprüngen von bis zu 200 °C/Min. und eignet sich für den Einsatz in häufig wechselnden thermischen Prozessbedingungen.

Modulares Schnellmontagesystem
Die Anschlussausführung – standardisiert oder individuell – erlaubt die werkzeuglose Montage und Demontage durch eine einzelne Person. Gleichzeitig wird eine zuverlässige Abdichtung unter extremen Bedingungen sichergestellt.

Produktanwendungen

Schutz optischer Präzisionsgeräte
Eingesetzt in Lasern oder Hochpräzisionslinsen, filtert der Sinterfilter effektiv Umweltschadstoffe und bewahrt die Reinheit optischer Oberflächen.

Treibstoffkontrolle in Raumfahrtsystemen
Geeignet für Satelliten und Raumsonden zur zuverlässigen Abscheidung von Verunreinigungen im Antriebssystem unter extremen Bedingungen.

Endfiltration in Reinstwasseranlagen
Als letzte Filtrationsstufe in Anlagen für elektroniktaugliches Reinstwasser gewährleistet der Filter die Einhaltung halbleitergerechter Reinheitsstandards.

Gasreinigung in Brennstoffzellensystemen
Für Wasserstoff-Brennstoffzellen konzipiert, filtert der Titanfilter katalysatorschädigende Partikel und verlängert die Lebensdauer der Zelle.

Filtration in kryogenen Kühlsystemen
Reinigt Kühlmedien in supraleitenden Tieftemperatursystemen und sichert den stabilen Betrieb bei extremen Temperaturen.

Hydraulikfiltration für Tiefseeausrüstung
Hält hohen Meerwasserdruck stand und sorgt für eine langlebige und zuverlässige Filtration in hydraulischen Systemen von Tiefsee-Explorationsgeräten.