Gesinterter SS316L-Pulver-Feststofffilter für Gasgetter

Der gesinterte SS316L-Pulver-Feststofffilter von TOPTITECH für Gasgetter verwendet gaszerstäubtes kugelförmiges Pulver aus 316L-Edelstahl, das den ASTM F138-Standards entspricht und dessen Sauerstoffgehalt streng auf unter 300 ppm kontrolliert wird. Der Herstellungsprozess nutzt kaltisostatisches Pressen, gefolgt von Vakuumsintern bei Temperaturen über 1200 Grad, wodurch eine monolithische poröse Struktur mit gleichmäßiger Porenmorphologie und hohem Hohlraumvolumen entsteht. Im Gegensatz zu geschweißten Maschenkonstruktionen eliminiert dieser Feststofffilter das Risiko einer Medienmigration durch metallurgische Bindung an den Partikelkontaktpunkten und stellt so sicher, dass bei thermischen Zyklen oder mechanischen Vibrationen keine Partikelentladung stattfindet. Das miteinander verbundene Porennetzwerk erzeugt eine ausgedehnte innere Oberfläche von mehr als 500 cm²/g und optimiert die Chemisorptionskinetik für reaktive Gasspezies, während die strukturelle Integrität bei Differenzdrücken von bis zu 250 psid erhalten bleibt.

Der gesinterte SS316L-Pulver-Feststofffilter für Gasgetter von TOPTITECH fungiert als nicht-verdampfbarer Getterträger (NEG) oder als direktes Sorptionselement in Ultra-Hochvakuumumgebungen (UHV), pumpt aktiv Wasserstoff bei Raumtemperatur und fängt Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenmonoxid und Wasserdampf bei thermischer Aktivierung zwischen 650 und 760 Grad. Die poröse 316L-Matrix bietet eine hervorragende thermische Stabilität bis zu 677 Grad bei minimaler Ausgasung und hält die Vakuumintegrität unter 10⁻¹⁰ mbar bei der Halbleiterfertigung, Teilchenbeschleunigerstrahllinien und hermetisch abgedichteten elektronischen Geräten aufrecht. Zu den Anwendungen gehören MEMS-Vakuumverpackungen, Miniatur-Wanderwellenröhren, die einen Kathodenschutz vor Vergiftung erfordern, und Laserdioden-TO{11}}-Dosenbaugruppen, bei denen Feuchtigkeit und korrosive Gasadsorption eine Facettenoxidation verhindern. Die regenerierbare Struktur unterstützt wiederholte Ausheizzyklen ohne Leistungseinbußen und ermöglicht eine nachhaltige Entfernung von Gasverunreinigungen in analytischen Instrumenten und bei der Verarbeitung von Luft- und Raumfahrtkomponenten.

Material: SS316L

Porengröße: 1 um

Durchmesser: 6 mm

Länge: 130 mm

Technik: Sintern

 

Kontrollierte Porosität und Porengrößenverteilung

Präzises Sieben und Mischen des kugelförmigen 316L-Pulvers vor dem Sintern ermöglicht eine gleichmäßige Porenstruktur mit enger Verteilung. Dies sorgt für eine gleichmäßige Gasdiffusion und ein vorhersehbares Sorptionsverhalten über das gesamte Filterelement und eliminiert Kanalbildung oder tote Zonen, die in gepackten Partikelbetten häufig vorkommen.

 

Hervorragende Korrosionsbeständigkeit für aggressive Gasumgebungen

Die austenitische 316L-Struktur mit Molybdänzusatz bietet Beständigkeit gegen Halogenide und schwefelhaltige Spezies. Dies verhindert eine Oberflächenpassivierung, die andernfalls aktive Getterstellen blockieren würde, wenn aggressive Prozessströme gefiltert oder nachgeschaltete Komponenten geschützt werden.

 

Hohe mechanische Festigkeit bei dünnwandiger Konstruktion

Durch kaltisostatisches Pressen wird eine gleichmäßige Rohdichte erreicht, was gesinterte Wandstärken von nur 1,5 mm ermöglicht und gleichzeitig Differenzdrücken von mehr als 200 psid standhält. Dies minimiert die Durchflussbeschränkung und sorgt gleichzeitig für die strukturelle Zuverlässigkeit bei Rückimpulsen oder schnellen Druckänderungen.

 

Wiederverwendbar durch Ultraschallreinigung und erneutes {{0}Ausbacken-

Die gesinterte Metallmatrix widersteht aggressiven Reinigungsprotokollen, einschließlich Ultraschall in organischen Lösungsmitteln und anschließendem Ausheizen im Hochvakuum. Dadurch werden die ursprünglichen Fließeigenschaften und die Getteraktivität ohne Dimensionsänderungen oder Materialverschlechterung wiederhergestellt.

 

Bimodale Porenstrukturfähigkeit

Durch gezielte Pulverabstufungen können Architekturen mit doppelter Porosität entstehen, bei denen größere Strömungskanäle einen schnellen Gastransport unterstützen, während mikroporöse Bereiche die Oberfläche für die Chemisorption maximieren. Dadurch wird das Gleichgewicht zwischen Pumpgeschwindigkeit und Gesamtgetterkapazität innerhalb einer einzelnen Komponente optimiert.

 

Kein Partikelabwurf oder Medienmigration

Die metallurgische Bindung der kugelförmigen Partikel gewährleistet eine absolute Retention der Filtermatrix selbst. Dadurch wird die Entstehung von Partikeln vermieden, die empfindliche nachgelagerte Prozesse wie Elektronenstrahlsäulen oder Wafer-Bearbeitungskammern verunreinigen könnten.

 

• Nicht-Verdampfbare Getter (NEG)-Pumpenstützstrukturen: Dienen als physische Eindämmung und Stützmatrix für Bulk-Gettermaterialien (z. B. Zr-V-Fe-Legierungen wie St707) in Ultra-Hochvakuumkammern (UHV). Die poröse 316L-Struktur hält Getter-Pellets oder -Granulat und ermöglicht gleichzeitig eine ungehinderte Gasdiffusion zu aktiven Sorptionsoberflächen, wodurch die Vakuumintegrität in Teilchenbeschleunigern und Strahllinien unter 10⁻¹⁰ mbar aufrechterhalten wird.

• Hermetischer Druckausgleich für elektronische Pakete: Fungiert als Schutzlüftung in hermetisch abgedichteten MEMS, Sensorgehäusen und Oszillatorpaketen, die Getterfilme enthalten. Verhindert Druckunterschiede während des Temperaturwechsels, während die gesinterte Matrix die Partikelmigration blockiert, die einen Kurzschluss-schließen oder empfindliche Chipoberflächen verunreinigen könnte.

• Ionenimplantierer und Halbleiterprozesswerkzeuge: Installiert in Gaszufuhrleitungen vor End-Hall-Ionenquellen oder Implantationskammern. Entfernt Partikel, die durch Zylinderwechsel oder Reglerverschleiß entstehen, während die gesinterte Pulverstruktur für eine laminare Strömungsstabilisierung sorgt und eine gleichmäßige Dotierstoffgasverteilung über die Waferoberflächen gewährleistet.

• Regeneration von kryogenen Vakuumsystemen: Wird in Kryopumpen-Arrays eingesetzt, in denen Getter den Wasserstoff verwalten, nachdem sich die Kryoplatten während der Regenerationszyklen erwärmt haben. Die gesinterte 316L-Struktur widersteht Temperaturschocks bei Temperaturen von flüssigem Stickstoff bis hin zum Ausheizen bei 400 Grad, ohne zu reißen oder die Partikelrückhaltefähigkeit zu verlieren.

• Gaschromatographie und analytische Instrumentierung: Wird als kombinierter Durchflussbegrenzer und Getter-Unterstützung in Trägergas-Reinigungsanlagen verwendet. Die präzise Porenarchitektur gewährleistet einen gleichmäßigen Gegendruck für die Stabilität des Detektors, während Gettermaterialien Spuren von Sauerstoff und Kohlenwasserstoffen entfernen, die Grundlinienrauschen und Säulendegradation verursachen.

• Hoch{0}}Gasverteilungsverteiler: Installiert am Einsatzort--in Epitaxie- und CVD-Anlagen, wo Getterplatten restliche Verunreinigungen entfernen. Der monolithisch gesinterte Körper eliminiert Schweißspritzer und tote Gase, die Verunreinigungen einfangen, und liefert makelloses Gas an die Abscheidungskammern für ein fehlerfreies Filmwachstum.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-Mail:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adresse: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Entwicklungszone, Baoji City, Shaanxi, China

WhatsApp: +86 18992731201

Beliebte label: gesinterter SS316L-Pulver-Feststofffilter für Gasgetter, China, Lieferanten, Hersteller, kundenspezifisch, Verwendung, Preisliste, zu verkaufen, auf Lager, kostenlose Probe, poröses Material