1 um Titanpulver-Sinterfilter für die Behandlung saurer Abgase

Produktspezifikationen

Produktmerkmale

Überlegene Säurebeständigkeit‌
Der 1-um-Titanpulver-Sinterfilter weist aufgrund seiner reinen Titanzusammensetzung und des bindemittelfreien Sinterprozesses eine unübertroffene Korrosionsbeständigkeit in sauren Umgebungen auf. Seine homogene Mikrostruktur widersteht einer längeren Einwirkung von Schwefel-, Salz- und Salpetersäuredämpfen ohne strukturellen Abbau und übertrifft damit Polymer-basierte oder beschichtete Metallalternativen in aggressiven Abgasströmen.

 

Präzisionsfiltrationsleistung‌
Mit einer absoluten Filtrationsgenauigkeit von 1 μm, die durch kontrollierte Partikelgrößenverteilung und optimierte Sinterparameter erreicht wird, gewährleistet dieser Filter eine konstante Partikelentfernungseffizienz. Die gleichmäßige Porengeometrie minimiert den Druckabfall und sorgt gleichzeitig für eine hohe Staubaufnahmekapazität, die für industrielle Anwendungen, die eine stabile Filtrationsleistung über längere Betriebszyklen erfordern, von entscheidender Bedeutung ist.

Thermische und mechanische Stabilität‌

Die monolithische Titanmatrix behält ihre Dimensionsintegrität bei Temperaturwechselbelastungen von bis zu 280 Grad und eliminiert so das Risiko einer Delaminierung oder Rissbildung, die bei Verbundfiltern häufig auftritt. Seine isotrope Festigkeitsverteilung gleicht Vibrationsbelastungen in Abgassystemen aus, wobei die M30-Gewindeschnittstelle eine robuste mechanische Abdichtung unter schwankenden Druckbedingungen bietet.

 

Nachhaltige Betriebsökonomie‌

Das Fehlen von Verschleißteilen und nicht{0}}abbaubarem Titanmaterial reduziert die Wartungskosten über den gesamten Lebenszyklus. Regenerative Reinigungsmethoden wie Ultraschall oder Rückspülung stellen die Filtrationseffizienz wieder her, ohne die Sinterstruktur zu beschädigen, und ermöglichen so den wiederholten Einsatz in Chargenverarbeitungsanwendungen.

Thermische und mechanische Stabilität‌
Die monolithische Titanmatrix behält ihre Dimensionsintegrität bei Temperaturwechselbelastungen von bis zu 280 Grad und eliminiert so das Risiko einer Delaminierung oder Rissbildung, die bei Verbundfiltern häufig auftritt. Seine isotrope Festigkeitsverteilung gleicht Vibrationsbelastungen in Abgassystemen aus, wobei die M30-Gewindeschnittstelle eine robuste mechanische Abdichtung unter schwankenden Druckbedingungen bietet.

 

Nachhaltige Betriebsökonomie‌
Das Fehlen von Verschleißteilen und nicht{0}}abbaubarem Titanmaterial reduziert die Wartungskosten über den gesamten Lebenszyklus. Regenerative Reinigungsmethoden wie Ultraschall oder Rückspülung stellen die Filtrationseffizienz wieder her, ohne die Sinterstruktur zu beschädigen, und ermöglichen so den wiederholten Einsatz in Chargenverarbeitungsanwendungen.

 

 

 

Anwendung in der sauren Abgasbehandlung

Halbleiter-Lithographie-Abgassysteme‌
Der 1-um-Titanpulver-Sinterfilter wird nach Immersionslithographiegeräten eingesetzt, um die beim Ablösen des Fotolacks entstehenden Dämpfe von Flusssäure (HF) und Salpetersäure (HNO₃) aufzufangen. In vertikalen Abgaskaminen mit M30-Flanschanschlüssen installiert, fängt es Säuretröpfchen im Submikronbereich und siliziumhaltige Partikel ab, bevor das Gas in zentrale Gaswäscher gelangt.

 

Kontrolle von Säurenebel beim Galvanisieren‌
In Hartchrom- und Nickel-Galvanisierungslinien wird der Filter in Lüftungshauben vom Schlitz--Typ über Galvanisierungstanks integriert, um Schwefel- und Salzsäurenebel zu neutralisieren. Die Kartuschenlänge von 500 mm bietet ausreichend Verweilzeit, um Säureaerosole zu größeren Tröpfchen zu verschmelzen, die anschließend zu Nasswäschern abgeleitet werden. Seine Titankonstruktion widersteht Lochfraß in chloridreichen Umgebungen und übertrifft Polymer-Tropfenabscheider bei Anwendungen mit hoher Stromdichte.
 

Titandioxid-Produktion aus-Gasaufbereitung‌
Während des Chloridprozesses zur TiO₂-Herstellung dient der Filter als Vorfilter in Abgassträngen mit hoher-Temperatur (200–300 Grad) und entfernt nicht umgesetztes TiCl₄ und Chlorpartikel vor Katalysatoren. Die in parallelen Anordnungen in FRP-Gehäusen montierte gesinterte Matrix widersteht der abrasiven Natur von Titanoxychlorid-Staub und bleibt gleichzeitig erhalten<50Pa pressure drop across continuous 24/7 operation cycles.

Rauchabsaugung in der Beizanlage‌
Beim Beizen von Stahl und Titanlegierungen werden mehrere Filtereinheiten in Reihe in säurebeständigen PP-Rohrleitungen angeordnet, um Salpetersäure-Mischsäuredämpfe aufzufangen. Der Durchmesser von 80 mm ermöglicht eine kompakte Integration in der Nähe von Prozesszonen, während die gesinterte Porenstruktur einer Verstopfung durch Eisensalzaerosole, die üblicherweise in Beizabgasströmen vorkommen, standhält.

Anschlüsse für Nassprozess-Halbleiterwerkzeuge‌
Der Filter ist direkt mit den Abluftöffnungen der Nassbank in Halbleiterfabriken verbunden und fängt BOE- (Buffered Oxide Etch) und SC-1/SC-2-Reinigungslösungsdämpfe ein. Seine Ganzmetallkonstruktion eliminiert das Ausgasungsrisiko bei vakuumkompatiblen Werkzeuganschlüssen, wobei die 1-μm-Einstufung den Rückstrom von Ammoniumfluoridpartikeln in sensible Prozessbereiche verhindert.

 

Chlor-Alkali Cell Vent Gas Polishing‌
Der Filter ist stromabwärts von Quecksilber- oder Membranzellenentlüftungen in Chloralkalianlagen positioniert und ermöglicht die endgültige Partikelentfernung für Wasserstoffgasströme, die Spuren von Chlor und Natriumhydroxid-Aerosolen enthalten. Die Kompatibilität des Titanmaterials mit gesättigtem Solenebel gewährleistet einen langfristigen Betrieb in dieser Umgebung mit hoher Luftfeuchtigkeit und hohem Salzgehalt.

• Schwefelsäure (H₂SO₄) und Derivate‌

Titan-Sinterfilter weisen eine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber Schwefelsäuredämpfen und -aerosolen auf, insbesondere in Abgasen von TiO₂-Chlorid-Prozessen (enthält SO₂/SO₃) und in Abgassystemen für die Herstellung von Blei-Säure-Batterien. Ihre Korrosionsbeständigkeit gegenüber konzentrierter Schwefelsäure übertrifft die von Alternativen auf Polymerbasis, ohne dass die Gefahr einer Graphitierung oder Versprödung bei längerer Einwirkung besteht.

• Salzsäure (HCl) und Chlorwasserstoffgas‌

Titanfilter eignen sich ideal für Halbleiterätzabgase und Abgase aus der PVC-Produktion und halten feuchten Chlorgas- und HCl-Mischungen stand, ohne dass es zu den bei harzgebundenen Filtern üblichen Quellproblemen kommt. Die bindemittelfreie Sinterstruktur fängt effektiv Salzsäureaerosole im Submikronbereich in galvanischen Lüftungssystemen ein.

• Salpetersäure (HNO₃) und Stickoxide‌

In Nitrierungsreaktionen der TNT-Produktion und Metallbeizlinien (Edelstahlpassivierung) tolerieren Titanfilter rauchende Salpetersäure. Die gesinterte Matrix filtert vom Salpetersäuredampf getragene Metallsalzpartikel und verhindert so eine Vergiftung des nachgeschalteten Katalysators in SCR-Systemen.

• Flusssäure (HF) und Fluoridgase‌

Als einer der wenigen metallischen Filter, die mit HF kompatibel sind, sind gesinterte Elemente aus Titan von entscheidender Bedeutung für photovoltaische Siliziumätz- und Glasmattierungsprozesse (in Kombination mit PTFE-Dichtungen). Die 1 μm große Porenstruktur fängt Hexafluorkieselsäure (H₂SiF₆)-Kristalle ab und verhindert so Leitungsverstopfungen.

• Gemischte saure Gasströme‌

Für Abgase aus der metallurgischen Industrie (z. B. H₂SO₄-HNO₃-HF-Mischdämpfe) und schwefelhaltige FCC-Gase aus Erdöl (H₂S-SO₂) weisen Titanfilter eine synergistische Korrosionsbeständigkeit auf. Ihr Wärmeausdehnungskoeffizient entspricht dem von Industriekanälen und ermöglicht die direkte Installation an Entladungspunkten mit hohen Temperaturen (weniger als oder gleich 280 Grad).

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